Это своего рода дистилляция в среде высокого вакуума, из-за разницы в свободном пути движения молекул материала, которая проводилась в процессе дистилляции и очистки термочувствительного материала или материала с высокой температурой кипения. Дистилляция с коротким путем в основном используется в химической, фармацевтической, нефтехимическая, специи, пластмассы, нефть и другие области.